世上无难事只要肯登攀,哪有什么造不出来的东西
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11月中旬,华为向国家知识产权局申请了一项涉及EUV光刻机及其关键部件的专利,专利申请号为202110524685X。如果华为制造出这样的光刻机扫描仪并实现可观的生产力、正常运行时间和产量,中国芯片制造商可以生产 7 纳米级以下技术的芯片。唯一的问题是什么时候。* L* n2 U5 n' X' W! M
. ]+ ^9 A' e! z该专利申请涵盖了 EUV 光刻机的所有关键组件,包括13.5 nm EUV 光发生器(光源)、一组反射镜、光刻系统和“控制管理技术”。; n! w7 V& f1 U; m( U; ?. ]
8 Z) L* @* Q# Y- W! V申请专利并不等于能够制造一台EUV 光刻机,这是一台高度复杂的机器,具有许多最先进的组件,必须完美协同工作并长时间工作。此外,即使手头有EUV 工具,芯片制造商仍然需要为掩模、抗蚀剂和大批量生产所需的许多其他东西找出合适的薄膜。
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目前,只有英特尔、美光、三星、SK海力士和台积电使用或计划使用 ASLM 的 EUV 光刻机。此外,只有这五家公司已经开发或计划开发足够复杂的工艺技术来利用4 d' }: E9 I, d1 {) v: e
0 O" C+ T% e+ }, a同时,由于瓦森纳的安排,中国的中芯国际无法获得已经采购的EUV 光刻机来开发自己的基于 EUV 的制造工艺。因此,中国对 EUV 光刻机的潜在需求是存在的。 ( q( f* t. s! _' C- Z- x* b8 t
作为年收入约1000亿美元的世界级高科技企业集团,华为追求不同的目标并开发了许多技术,不限于芯片生产,还包括建造晶圆厂设备。 . m# @+ s+ W3 [, ~! |, Q
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